当前，微型零件的加工主要有光刻加工和机械加工两种方法。光刻加工是以半导体制作技能为根底，用于微电机体系（Micro Electro-mechanical Systems--MEMS）的制作。光刻技能尽管较为老练，但存在被加工资料种类单一、加工设备贵重等疑问，且只能加工布局简略的二维或准三维零件，无法进行杂乱三维微型零件的加工。

微型机床（Micro Machine Tools--MMT）和微加工（Micro Machining--MM）是将传统加工技能及装备微型化，并用于微型零件批量出产的技能，也就是用小机床加工小工件的技能。微加工通常是指微型机床加工工件标准范围在100～10mm、加工精度范围在0.1～1的金属或塑料零件的非光刻加工技能。桌面工厂（Desktop Factory--DTF）是由微型机床、微型机械手和运送设备等组成的细小化工厂。微型机床和桌面工厂开展的进程和不一样时代的典型产物如图3所示。

微型机床因为体积小、惯性质量小、发热量小，因而具有能耗低、柔性大、效率高的长处，能够减小微型设备出产线的全体系标准规划，既能够节约能源又能够节约制作空间和资源，契合节能、环保的需求，是绿色制作的开展方向之一。